Технология обработки металлического асферического зеркала

Металлические зеркала могут быть полностью спроектированы, а установка и регулировка оптической механической интеграции могут быть разработаны для упрощения структуры задней поддержки зеркала.

Металлические материалы обычно получают с помощью литья. Металлические материалы имеют хорошую теплопроводность, относительно большой коэффициент расширения, и их легко влиять на температуру. Тем не менее, металлические материалы имеют преимущества хорошей технологии обработки и короткого времени закупок. Мы обычно используем в оптической системе- алюминиевое асферическое зеркало и асферическое зеркало Ni-P.

Ключевые моменты технологии обработки:

1. Поворота с точки зрения точки точки-это незаменимый и важный процесс для обработки металлического зеркала. Технология Ultra-Crown Turning Technology (Technology STDP) использует бриллиантовые инструменты поворота для выполнения детерминированного удаления материала на вращающихся металлических зеркалах. После поворота точность поверхности может быть достигнута лучше, чем λ/10 (λ = 632,8 нм), и шероховатость поверхности может быть лучше, чем 2 нм. Как показано на рисунке ниже.

2. Поскольку металлическое зеркало может получить лучшую точность и шероховатость поверхности после поворота, из -за принципа поворота на поверхности металлического зеркала будет повернуть след Определенный ущерб оптической системе. Следовательно, после поворота поверхность должна быть отполирована. Некоторые металлические зеркала будут покрыты слои на их поверхностях (такие как зеркала сплава, зеркала, домашние 6061 зеркала и т. Д.), А затем полируют после покрытия. Как показано ниже процесса.

3. Твердость металлических зеркал относительно низкая, а царапины легко встречаются на поверхности во время полировки, что также может ускорить окисление поверхности. Трудно достичь хорошей зеркальной поверхности, и общим решением является выполнение металлического покрытия на поверхности. Разница в коэффициенте термического расширения между зеркальным субстратом и модифицированным слоем следует учитывать, чтобы избежать биметаллического эффекта (после покрытия, точность поверхности зеркала изменяется с температурой). Обычно используемым процессом поверхностного покрытия металлического зеркала является слой Ni-P, который имеет равномерную плотность и высокую твердость. После полировки могут быть достигнуты высокая точность поверхности и шероховатость.

4. Поскольку одноточечный алмазный поворот металлического зеркала, точность поверхности и шероховатость относительно высоки, и он может непосредственно выйти на стадию интерферометрического тестирования. В соответствии с конструкцией тестового оптического пути, лазерный интерферометр, компьютерная голограмма (CGH) и кадр регулировки расположены для интерферометрического тестирования. После того, как точность поверхности соответствует требованиям (например, λ1/50, λ = 632,8 нм), зеркало может быть покрыто и доставлено.