Производство асферического зеркала 720 мм SIC

3. Поливка: грубая полировка еще больше улучшает шероховатость поверхности и точность поверхности более широких асферических зеркал апертуры. Небольшие шлифовальные головки ЧПУ все еще используются для грубой полировки, а также участвует последняя стадия MRF-магнетологическая отделка. После грубой полировки поверхность зеркала выходит на стадию метрологии помех и может попасть на стадию покрытия Si после того, как значение среднеквадратичного среднего значения поверхности лучше, чем 1/10 λ.

4.si Coter: зеркальный пустой материал большой апертуры SIC Асферическое зеркало часто использует материал SIC, развязанный реакцией, который имеет немного более низкую плотность по сравнению с материалом SIC, развязанного давлением. Чтобы улучшить отражательную способность более широкого асферического зеркала апертуры, слой Si выселяется на поверхность зеркала для улучшения плотности поверхности.

5. Полировка почин: после модификации более крупное асферическое зеркало Aperture SIC попадает на стадию тонкой полировки. Небольшие шлифовальные головки с ЧПУ, полировка с напряжением и MRF-магнетологиологическая отделка часто используются на начальной стадии тонкой полировки, чтобы удалить относительно свободный слой на модифицированной поверхности. Позже, мелкие шлифовальные головки ЧПУ вместе с фигурой ионного луча используются для уточнения точности поверхности в соответствии с требованиями конструкции. В настоящее время точность поверхности больших апертурных асферических зеркал может быть обработана до уровня среднеквадратичного средства с полным диаметром лучше, чем 1/60 λ или даже лучше.

После нескольких лет технического накопления MG-Optics в настоящее время обладает способностью разрабатывать весь процесс асферического зеркала SIC с крупной апертурой. Набор диаметром диаметром 720 мм, асферический зеркал SIC, был завершен с окончательной точностью поверхности среднеквадратичного среднеквадратичного среднеквадрата лучше, чем 1/60 λ.