Дизайн ультра-легкого сканирующего зеркала SIC

Задняя структура сверхлегкого сканирующего зеркала

Зеркальное тело было изготовлено из карбида кремния, а опорная структура была изготовлена ​​из индийум -стали. Престав о опор и точность поверхности сборки сканирующего зеркала моделируется и анализируется с помощью анализа конечных элементов и подтверждается фактическим тестированием.

Модель конечных элементов сборки сканирующего зеркала

Результаты показывают, что максимальное среднее значение квадратного (среднеквадратичного) ошибки формы сканирующего зеркала составляет 9,705 нм, фактический результат тестирования 10,125 нм, ошибка составляет 4% и соответствует требованию, чтобы среднеквадратичное значение должно составлять менее 12,6 нм в Случай гравитации во всех направлениях и крутящий момент, управляемый валом.

Результат испытания точности поверхности

Натуральная частота компонента первого порядка составляла 302,25 Гц, что соответствовало требованиям жесткости. Результаты показывают, что предложенный метод является разумным и эффективным, что решает проблему, что сверхлегкая структура, и конструктивная жесткость и оптическая точность поверхности, трудно гарантировать за один раз.

Сканирование зеркала сборка

На основании принципа конуса и гибкого шарнира предлагается сборка сканирующего зеркала со встроенной поддержкой задней части. Основные параметры гибкой связи определяются посредством численного моделирования и итерационного расчета, что обеспечивает техническую ссылку для оптимизации параметров гибкой структуры поддержки.